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    索尼為圖像傳感器結構提出三層堆疊技術

    字號+ 作者:admin 來源:未知 2020-12-01 01:18

    索尼為圖像傳感器結構提出三層堆疊技術瘋狂動物城 動畫片 【嘉德點評】索尼的此項專利,可以充分地利用焊盤孔下層的區域,與傳統的三層堆疊結構的固體攝像元件相比,能夠增大

    【嘉德點評】索尼的此項專利,可以充分地利用焊盤孔下層的區域,與傳統的三層堆疊結構的固體攝像元件相比,能夠增大基板的利用效率。此外,在第二半導體基板或第三半導體基板內,置有構成測量端子的金屬元件,并且第一半導體基板是在執行預定測量之后才被堆疊的,因此可以極大地降低測量時間。

    提到攝像,想必大家都會想到全球相機銷量最高的品牌之一——索尼,當然索尼相機的不斷發展肯定少不了其圖像傳感器技術的革新。

    近年來,固體攝像裝置已經廣泛用于數碼相機、數碼攝影機等。雖然三層堆疊結構是當前較為前沿的圖像傳感器的結構,但它也存在一些問題。比如在使深的焊盤開口的過程中會出現抗蝕劑增厚,以及在干式蝕刻之后會使抗蝕劑固化等弊端。而且,在第二層或其以下層中的焊盤開口區域中,不能設置布線或電路元件,否則會產生許多死區。另外,針對現有結構,執行測量作業時,也會導致缺陷率增大以及測量時間增加等問題。

    為此,索尼申請了一項名為“固體攝像裝置、固體攝像裝置制造方法和電子設備”的發明專利,申請人為索尼公司。

    圖1 三層堆疊結構的固體攝像元件中的連接構造圖

    圖1是此發明提出的三層堆疊結構的固體攝像元件連接構造圖,從圖中可以看到,固體攝像元件500由第一層基板501、第二層基板502和第三層基板503彼此堆疊而得到的三層堆疊結構構成。其中,在三層結構之間依次設有傳感器電路、邏輯電路以及存儲器電路。

    在第一層基板501中,布線層512和平坦化膜513分別堆疊在硅基板511的表面側和背面側上。而且焊盤孔515從背面側穿過第一層基板501并在布線層512中的形成鋁焊盤514。

    接下來是第二層基板502,布線層522堆疊在硅基板521的背面側上,同時布線層523堆疊在硅基板521的表面側上。在第二層基板502中,布線層522和523分別形成具有背面側的鋁焊盤524以及表面側的鋁焊盤525。由于該層基板位于三層堆疊結構之間,所以其接觸部526可以用來連接第一層基板501和第三層基板503。除此之外,第二層基板502中還有背面側的鋁焊盤524、表面側的鋁焊盤525、以及接觸部527,這些接觸部可以連接用于構成第二層基板502中的邏輯電路的晶體管。

    最后就是第三層基板503,其構造使得布線層532堆疊在硅基板531的表面側上,布線層533堆疊在布線層532上。除此之外,布線層533形成了鋁焊盤534,布線層532中還包含連接第三層基板503中的存儲器電路的連接導體535。

    從整體來看,第一、二層基板和第二、三層基板間分別通過接合表面291以及292貼合,從而構成固體攝像元件500。

    索尼的此項專利,可以充分地利用焊盤孔下層的區域,在與傳統的三層堆疊結構的固體攝像元件相比時,能夠增大基板的利用效率。此外,在第二半導體基板或第三半導體基板內,置有構成測量端子的金屬元件,并且第一半導體基板是在執行預定測量之后才被堆疊的,因此可以極大地降低測量時間。

    在智能手機能夠使用的CMOS體積上,索尼三層堆疊結構已經將畫質提升到了結構、體積限制下能夠達到的極致,那么后續索尼在圖像傳感器上還會有哪些大動作呢?讓我們拭目以待。

    關于嘉德

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